位移檢測的傳感器次要有脈沖編碼器、直線光柵、旋轉(zhuǎn)變壓器、感應同步器等。
 

一、脈沖編碼器的運用

脈沖編碼器是一種角位移（轉(zhuǎn)速）傳感器，它可以把機械轉(zhuǎn)角變成電脈沖。脈沖編碼器可分為光電式、接觸式和電磁式三種，其中，光電式運用比擬多。

X軸和Z軸端局部別配有光電編碼器，用于角位移測量和數(shù)字測速，角位移經(jīng)過絲杠螺距能直接反映拖板或刀架的直線位移。
 

二、直線光柵的運用

直線光柵是運用光的透射和反射景象制造而成，常用于位移測量，分辨力較高，測量精度比光電編碼器高，順應于靜態(tài)測量。在進給驅(qū)動中，光柵尺固定在床身上，其發(fā)作的脈沖信號直接反映了拖板的實際地位。用光柵檢測義務臺地位的伺服零碎是全閉環(huán)控制零碎。
 

三、旋轉(zhuǎn)變壓器的運用

旋轉(zhuǎn)變壓器是一種輸入電壓與角位移量成延續(xù)函數(shù)關(guān)系的感應式微電機。旋轉(zhuǎn)變壓器由定子和轉(zhuǎn)子組成，詳細來說，它由一個死心、兩個定子繞組和兩個轉(zhuǎn)子繞組組成，其原、副繞組區(qū)分放置在定子、轉(zhuǎn)子上，原、副繞組之間的電磁耦合水平與轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)角有關(guān)。
 

四、感應同步器的運用

感應同步器是運用兩個立體形繞組的互感隨地位不同而變化的原理制成的。其功用是將角度或直線位移轉(zhuǎn)變成感應電動勢的相位或幅值，可用來測量直線或轉(zhuǎn)角位移。按其構(gòu)造可分為直線式和旋轉(zhuǎn)式兩種。直線式感應同步器由定尺和滑尺兩局部組成，定尺裝置在機床床身上，滑尺裝置于挪動部件上，隨義務臺一同挪動；旋轉(zhuǎn)式感應同步器定子為固定的圓盤，轉(zhuǎn)子為轉(zhuǎn)動的圓盤。感應同步用具有較高的精度與分辨力、抗干擾才干強、運用壽命長、維護復雜、長間隔位移測量、工藝性好、本錢較初等優(yōu)點。直線式感應同步器目前被普遍地運用于大位移靜態(tài)與靜態(tài)測量中，例如用于三坐標測量機、程控精工機床、高精度重型機床及加工中心測量安裝等。旋轉(zhuǎn)式感應同步器則被普遍地用于機床和儀器的轉(zhuǎn)臺以及各種回轉(zhuǎn)伺服控制零碎中。